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 大氣圧疏水性装備 |
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IHP-1000 | SHP-1000
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Large Scale Plasma System
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疏水性及び超疏水性は表面のエネルギーを極端的に落せる技術として（株）エーピピは大氣圧プラズマを利用する連続工程疏水性及び 超疏水性のナノ薄膜コーティング技術を 提供しています。
ディスプレー、ナノ、MEMS、バイオ、光学、エネルギー素子などの各種部品の性能及び製造工程の単純化及び品質改善等の低費用で附加價値の極大化が出来る最尖端の技術です。
(株）エーピピは、高品質の数ナノメートルナノ薄膜疏水性コーティング技術を提供しています。 |
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~500mm 対面積表面処理 |
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速い処理速度 : ~50mm/s |
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対面積に均一なコーティング幕形成 |
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大気圧 In-line process |
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Fluorocarbon 薄膜 |
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Aging time : 1 年以上 |
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ナノレーザー薄膜 : 1~20mm |
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厚み調節にかなり容易 |
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耐化学性、耐酸性 |
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発液成分
(water, silicon resin, acrylesin など) |
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Nanoimprint-Hot embossing, UV imprint |
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Micro contact printing |
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Ink jet printing |
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BioMEMS (u-Fluidics) |
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MEMS device (u-Machines) |
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Patterning (Bio chip, Display) |
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Optic device
(Mirror, Glass, Lens, Film) |
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Electrowetting |
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Electric paper |
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Fuel cell, Solar cell |
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IHP
1000 |
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 IHP 1000
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AC 200V, 50/60 Hz
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300 w
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13.56 MHz
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Ar, He
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O2 , N2
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0~50 度
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0~90 %
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空冷式
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1500mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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Scan type
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1000(L)x815(W)x1350(H)
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100 Kg
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SHP
1000 |
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SHP 1000
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AC 200V, 50/60 Hz
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600 w
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13.56 MHz
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Ar, He
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O2 , N2 ,Ar/CH4, CF4, H2
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0~50 度
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0~90 %
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空冷式
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150mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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Scan type
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1000(L)x815(W)x1350(H)
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100 Kg
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