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ILP-S300/400 | ILP-S700 | ILP-C200 | ILP-C500 | ILP-C1500| ILP-M200
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500~3,000표면처리 |
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낮은 유지비용 |
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아크,오전 발생 없음 |
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빠른처리속도 |
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균일성 |
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Direct 글로우 플라즈마 |
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간편함과 안전함 |
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긴수명 |
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in-line Process 적용의 편리함 |
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친수[Hydrophilic] |
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세정[cleaning] |
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에싱[Ashing] |
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환원[Reduction] |
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산화[Oxidation] |
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살균[Sterilization] |
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정전기제거
[Romoval Static Electricity] |
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ILP
S300/S400 |
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 ILP S300
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ILP S400
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AC 200V, 50/60 Hz
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300 w
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13.56 MHz
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Ar
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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공랭식
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300mm
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400mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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Scan type
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500(L)x1500(W)x1100(H)
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600(L)x1500(W)x1100(H)
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90 Kg
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ILP
S700 |
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ILP S700
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AC 200V, 50/60 Hz
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1 kw
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13.56 MHz
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|
Ar
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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수냉식
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700mm(X) x 1500mm(Y)
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100 mm/s
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ball Convayor
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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|
Scan type
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1000(L)x1500(W)x1100(H)
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120 Kg
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ILP
C200 |
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ILP C200
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AC 200V, 50/60 Hz
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300 w
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13.56 MHz
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|
Ar
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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공랭식/수냉식
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200mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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|
DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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|
Conveyor type
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700(L)x1500(W)x1100(H)
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120 Kg
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ILP
C500 |
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|
ILP C500
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AC 200V, 50/60 Hz
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600 w
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|
13.56 MHz
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|
Ar
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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공랭식/수냉식
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500mm
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100 mm/s
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|
ball Convayor
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|
DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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|
Conveyor type
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700(L)x1500(W)x1100(H)
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120 Kg
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ILP
C1500 |
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|
ILP C1500
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AC 200V, 50/60 Hz
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2 kw
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13.56 MHz
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|
Ar
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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수냉식
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1500mm
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100 mm/s
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Non-contact Magnetic transmission Drive
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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Conveyor type
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700(L)x1700(W)x1100(H)
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120 Kg
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ILP
M200 |
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|
ILP M200
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AC 200V, 50/60 Hz
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300 w
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13.56 MHz
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|
Ar
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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공랭식/수냉식
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200mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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|
DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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|
Magazine type
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700(L)x1500(W)x1100(H)
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|
200 Kg
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