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~500mm 대면적 표면처리 |
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빠른처리속도 : ~50mm/s |
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대면적에 균일한 코팅막형성 |
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대기압 In-line process |
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Fluorocarbon 박막 |
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Aging time : 1year 이상 |
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Nano layer 박막 : 1~20mm |
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두께조절이 매우 용이 |
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내화학성, 내산성 |
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발액성분
(water, silicon resin, acrylesin 등) |
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Nanoimprint-Hot embossing, UV imprint |
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Micro contact printing |
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Ink jet printing |
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BioMEMS (u-Fluidics) |
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MEMS device (u-Machines) |
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Patterning (Bio chip, Display) |
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Optic device
(Mirror, Glass, Lens, Film) |
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Electrowetting |
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Electric paper |
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Fuel cell, Solar cell |
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IHP
1000 |
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 IHP 1000
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AC 200V, 50/60 Hz
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300 w
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13.56 MHz
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Ar, He
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O2 , N2
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0~50 도
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0~90 %
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공랭식
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1500mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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Scan type
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1000(L)x815(W)x1350(H)
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100 Kg
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SHP
1000 |
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SHP 1000
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AC 200V, 50/60 Hz
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600 w
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13.56 MHz
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Ar, He
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O2 , N2 ,Ar/CH4, CF4, H2
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0~50 도
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0~90 %
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공랭식
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150mm
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100 mm/s
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ball Convayor
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DC servo & Stepping
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PLC / 12" touch screen
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Scan type
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1000(L)x815(W)x1350(H)
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100 Kg
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