Ar 等离子体 模块
Ar 等离子体 设备
Ar 等离子体 研究

单元

反应堆(头)

概览

ArP 等离子体 头

特徵
  • 自定义

RF 发电机

概览

ArP 等离子体RF发电机

特徵
  • 弧检测
  • 稳定性
  • 自由定位
  • 等离子体密度值可以检查

RF匹配器

概览

ArP 等离子体RF匹配器

特徵
  • 能够使用任何类型的RF功率与特殊设计的控制程序操作
  • 稳定性
  • 自定义

MFC

概览

ArP 等离子体 MFC

特徵
  • 改善稳定性
  • 高精度和重复性
  • 快速反应

单元 备选方案

控制框

概览

ArP 等离子体模块选项控制框

特徵
  • 自定义
产品查询快捷方式